MonoTorrMicroTorrMegaTorr
Gasreiniger
Point-of-Use bis Bulk: beheizte Getter-Reiniger für Edelgase, Stickstoff und Wasserstoff, Umgebungstemperatur-Reiniger für Inert- und Spezialgase.
10 bis 20.000 Nm³/h
Reinheit ist
messbar.
Reinstgas-Technik von Point-of-Use bis Bulk: Gasreiniger, Partikelfilter und Drucklufttrocknung für Halbleiter, Labor und Industrie.
Reinheit
99 %
Verunreinigungen
< 1 ppb
Bulk-Durchsatz
bis 20.000 Nm³/h
Drucktaupunkt
bis −73 °C
Vom Prozessgas zum Reinstgas.
Getter-Material und Palladium-Membran binden Sauerstoff, Wasser, Kohlenwasserstoffe und Stickstoff irreversibel. Was austritt, ist reiner als jedes Flaschengas.
Das komplette Reinstgas-Programm.
PS7-PD05PS7-PD1PS7-PD2
Palladium-Wasserstoffreiniger
Micro-Channel-Membran macht aus Flaschen- oder Generatorgas 9N-Wasserstoff. Ohne Regeneration, ohne Kartuschenwechsel.
99,9999999 % · bis 140 Nm³/h
Partikelfilter & Gasdiffusoren
Inline- und Oberflächenmontage-Filter für die Waferfertigung, abgestimmt auf Gasart und Prozessschritt.
Edelstahl, Nickel, PTFE, Alloy-22
AdsorptionstrocknerCO₂-AdsorberSpülgasgeneratoren
Drucklufttrocknung & -reinigung
Vom kompakten Laborgerät bis zur Produktionsanlage: trockene, CO₂-freie Druckluft für Analytik und Fertigung.
0,4 bis 5.000 SCFM · CO₂ < 1 ppm
Ein Reiniger für jedes Gas.
Für jedes Prozessgas gibt es die passende Reinigungstechnologie, ausgelegt auf Flussrate, Anwendung und geforderte Endreinheit. Weitere Sondergase auf Anfrage.
N₂
Stickstoff
< 1 ppb
H₂
Wasserstoff
9N Palladium
He
Helium
< 1 ppb
Ar
Argon
< 1 ppb
Xe
Xenon
< 1 ppb
O₂
Sauerstoff
MicroTorr
NH₃
Ammoniak
MicroTorr
CO₂
Kohlendioxid
Adsorber < 1 ppm
CDA
Clean Dry Air
jede Flussrate
Wo es auf jedes ppb ankommt.
01
Halbleiter & MOCVD
Höchste Wasserstoff-Reinheit für Compound-Halbleiter und stabile Prozessfenster in der Waferfertigung.
02
Labor & Analytik
Träger- und Nullgas für GC, FTIR, NMR und TOC: saubere Basislinien ohne Drift.
03
Wasserstoff & Brennstoffzellen
9N-Wasserstoff aus günstigen Quellen wie Flaschenbündeln, Generatoren oder Trailern.
04
Forschung & Entwicklung
Point-of-Use-Reinigung schützt kritische Experimente vor Querkontamination aus der Hausversorgung.
Technologie, die man nachmessen kann.
MonoTorr Getter
Die einzige Purifier-Technologie, die alle Kohlenwasserstoffe und Stickstoff aus Prozessgasen entfernt. Verunreinigungen werden chemisch irreversibel gebunden.
H₂O, O₂, CO, CO₂, CH₄, N₂
APIMS-validiert
Qualifiziert per Atmosphärendruck-Ionisations-Massenspektrometrie: ppm-Schwankungen am Eingang werden sofort auf ppt-Level reduziert.
ppm → ppt, dokumentiert
Micro-Channel-Palladium
Patentierte Membrantechnologie, nur Wasserstoffatome passieren. Keine Regeneration, kein Kartuschenwechsel, kontinuierlicher Betrieb.
2 bis 3× höherer Durchsatz
Sprechen Sie mit dem Inhaber.
Kein Callcenter, keine Warteschleife: Rainer Lammertz berät Sie persönlich zu Auslegung, Spezifikation und Angebot. Auf Deutsch oder Englisch, von der Laboranwendung bis zur Bulk-Anlage.
Kontakt
Rainer Lammertz
Pure Gas Products
Dr.-Gottfried-Cremer-Allee 26
50226 Frechen bei Köln